Sciortaí ardfheidhmíochta le haghaidh déantúsaíocht inscálaithe de sliscíní SiC (cairbíd sileacain) atá réidh adamhach agus saor ó locht, deartha go sonrach le haghaidh sliscíní SiC rádlaithe nó snasta go meicniúil le Si-aghaidh, C-aghaidh, agus dromchlaí singil nó polacriostalach, Réitigh optamaithe do bhaisc agus singil - córais CMP wafer a sholáthraíonn costas úinéireachta feabhsaithe, Áirítear le sciodar breiseáin chun cinn a sholáthraíonn ráta snasta ultra-ard, suas le 10 n-uaire níos tapúla ná próisis atá ann cheana féin, agus aonfhoirmeacht á gcoimeád agus gan aon damáiste don dromchla