CMP slurry ընդունում է կոլոիդային որպես հումք. Յուրահատուկ բանաձևերի ձևավորումով՝ ըստ տարբեր փայլեցնող նյութերի, մեր փոշին կարող է ապահովել pH-ի արժեքը փայլեցման ընթացքում գրեթե անփոփոխ՝ այդպիսով ապահովելով փայլեցման արագության կայունությունը և խնայելով փայլեցման ժամանակը: CMP փայլեցնող փոշին լայնորեն օգտագործվում է նանոմաշտաբով նյութերի քիմիական մեխանիկական փայլեցման համար: Ինչպիսիք են շափյուղայի նյութը, սիլիցիումը, չժանգոտվող պողպատը, ալյումինի մագնեզիումի խառնուրդը, բարդ բյուրեղը և այլն:
Հատկություններ
1. Միատեսակ մասնիկների չափ. (նեղ բաշխում, գնդաձեւ մակերես);
2. Բարձր փայլեցման արագություն: (հատուկ բանաձեւ. pH արժեքը կայուն է);
3. Բարձր հարթություն. (մակերեսի որակը Ra<0.2nm TTV<3u);
4. Բարձր Հեծանվային կյանք;
5. Հասանելի է ցածր ջերմաստիճանի փայլեցում: (մինչև 35℃);
6. Բարելավված տեսակ սիլիցիումի կարբիդի ենթաշերտի համար;
7. Չեզոք կամ թույլ թթու փայլեցնող լցանյութ ալյումինի նիտրիդային ջերմության ցրման հիմքի համար:
Դիմումներ
1. Սիլիկոն  կարբիդային ենթաշերտ
2. Շափյուղա նյութ
3. Չժանգոտվող  պողպատ
4. Օպտիկական ապակի և բյուրեղյա
5. Ալյումինի նիտրիդային ջերմության ցրման հիմք