top of page

CMP-slurry

​CMP slurry
CMP-slurry neemt colloïdaal als grondstof. Met een uniek formuleontwerp volgens verschillende polijstmaterialen, kan onze slurry ervoor zorgen dat de pH-waarde tijdens het polijsten vrijwel onveranderd blijft, waardoor de stabiliteit van de polijstsnelheid wordt gewaarborgd en polijsttijd wordt bespaard. CMP-polijstslurry wordt veel gebruikt voor chemisch-mechanisch polijsten van verschillende nanoschaalmaterialen. Zoals saffiermateriaal, silicium, roestvrij staal, aluminiummagnesiumlegering, samengesteld kristal, enz.
Functies
1. Uniforme deeltjesgrootte. (smalle verdeling, bolvormig oppervlak);
2. Hoge polijstsnelheid. (speciale formule. pH-waarde is stabiel);
3. Hoge vlakheid. (oppervlaktekwaliteit Ra<0,2nm TTV<3u);
4. Hoge levensduur van de fiets;
5. Polijsten bij lage temperatuur beschikbaar. (Onder 35℃);
6. Verbeterd type voor siliciumcarbidesubstraat;
7. Neutrale of zwakke zure polijstslurry voor aluminiumnitride warmteafvoersubstraat.
Toepassingen
1. Silicium  carbidesubstraat
2. Saffiermateriaal:
3. Roestvrij  staal
4. Optisch glas en kristal
5. Aluminiumnitride warmteafvoer substraat:
​CMP slurry
bottom of page