Các loại bùn hiệu suất cao để sản xuất có thể mở rộng các tấm xốp SiC (silicon cacbua) nguyên tử mịn và không có khuyết tật, Được thiết kế đặc biệt để đánh bóng hoặc đánh bóng cơ học các tấm SiC với bề mặt Si-face, C-face và các bề mặt đơn hoặc đa tinh thể, Các giải pháp tối ưu cho hàng loạt và đơn - Hệ thống CMP cao hơn cung cấp chi phí sở hữu nâng cao, Bùn bao gồm các chất phụ gia tiên tiến cung cấp tốc độ đánh bóng cực cao, nhanh hơn gấp 10 lần so với các quy trình hiện có, trong khi vẫn duy trì tính đồng nhất và không làm hỏng bề mặt phụ