Boues hautes performances pour la fabrication évolutive de plaquettes SiC (carbure de silicium) atomiquement lisses et sans défauts,Spécialement conçues pour le rodage ou le polissage mécanique de plaquettes SiC avec face Si, face C et surfaces monocristallines ou polycristallines,Solutions optimisées pour les lots et les monocristallins -Systèmes CMP de plaquettes offrant un coût de possession amélioré