top of page

CMP bulamacı

​CMP slurry
CMP bulamacı, hammadde olarak kolloidal alır. Farklı cilalama malzemelerine göre benzersiz formül tasarımı ile, bulamacımız cilalama sırasında pH değerinin neredeyse değişmemesini sağlayabilir, böylece cilalama hızının stabilitesini sağlar ve cilalama süresinden tasarruf sağlar. CMP cilalama bulamacı, çeşitli nano ölçekli malzemelerin kimyasal mekanik cilalamalarında yaygın olarak kullanılmaktadır. Safir malzeme, silikon, paslanmaz çelik, alüminyum magnezyum alaşımı, bileşik kristal vb.
Özellikler
1. Düzgün parçacık boyutu. (dar dağılım, küresel yüzey);
2. Yüksek parlatma oranı. (özel formül. pH değeri sabittir);
3. Yüksek düzlük. (yüzey kalitesi Ra<0.2nm TTV<3u);
4. Yüksek Bisiklet ömrü;
5. Düşük sıcaklıkta parlatma mevcuttur. (35℃'nin altında);
6. Silisyum Karbür alt tabaka için geliştirilmiş tip;
7. Alüminyum Nitrür ısı dağılımı substratı için Nötr veya Zayıf asit parlatma bulamacı.
Uygulamalar
1. Silicon  karbür alt tabaka
2. Safir malzeme
3. Paslanmaz  çelik
4. Optik cam ve kristal
5. Alüminyum nitrür ısı dağılımı substratı
​CMP slurry
bottom of page